Máy Ion Hóa Khí Nitơ Siêu Sạch In-line Simco-Ion 4214

(4214 Simco-Ion In-line Ultra-clean Nitrogen Ionizer)

Tổng quan

Máy Ion Hóa Khí Nitơ Siêu Sạch In-line Simco-Ion Model 4214 được thiết kế để ion hóa khí nitơ (99.999%) trong các quy trình siêu sạch của ngành bán dẫn và các quy trình đòi hỏi độ tinh khiết cao. Khác với các ion hóa nitơ thông thường, máy này sử dụng một nguồn điện nhỏ và hiệu quả kết hợp với công nghệ ion hóa AC tần số cao, cho phép thời gian xả nhanh, giúp trung hòa tĩnh điện hiệu quả. Thiết kế siêu sạch với hệ thống ngăn chặn hạt đảm bảo quá trình ion hóa sạch nhất, đáp ứng yêu cầu ISO Class 1 cho các công nghệ dưới 22 nm.

Hình:Máy Ion Hóa Khí Nitơ Siêu Sạch In-line Simco-Ion 4214

Ưu điểm

• Độ sạch Extended ISO Class 1: Cung cấp khả năng ion hóa sạch cho quy trình siêu sạch, lý tưởng cho công nghệ 22 nm trở xuống.
• Cảnh báo: Có chỉ báo về đầu ra ion thấp, lỗi nguồn điện cao áp, và lưu lượng khí thấp.
• Giám sát trạng thái liên tục: Đảm bảo hiệu suất tối ưu liên tục.
• Chế độ chờ tiết kiệm nitơ: Giảm lưu lượng khí mà vẫn duy trì khả năng ion hóa nhanh.
• Tự cân bằng ion hóa: Không cần hiệu chuẩn hoặc thiết lập phức tạp.
• Tự động tắt khi lưu lượng khí thấp: Ngăn ngừa hư hỏng sản phẩm.
• Kích thước nhỏ gọn: Phù hợp cho tích hợp trong các thiết bị có không gian hạn chế.
• Nguồn điện đầu vào +24 VDC: Kết nối dễ dàng với nguồn điện của công cụ.

Cơ chế

Máy 4214 sử dụng công nghệ ion hóa AC tần số cao để ion hóa khí nitơ (99.999%) mà không phụ thuộc vào khí tạp trong dòng nitơ. Bộ vi xử lý kiểm soát và tự động cân bằng quá trình ion hóa, đảm bảo dòng khí ion hóa được dẫn đến các khu vực nhạy cảm với tĩnh điện trong thiết bị. Hệ thống ngăn chặn hạt bên trong đảm bảo độ sạch cao.

Cách sử dụng

Máy được cấp khí nitơ (99.999%) qua đầu nối Swagelok® 316L SST 1/8″ FNPT Adapter to 3/8″ OD tubing. Lưu lượng khí đầu vào tối thiểu là 1.41 cfm @ 5.3 psi, với lưu lượng khuyến nghị là 3.18 cfm @ 24.8 psi. Thiết bị yêu cầu nguồn điện đầu vào +24 VDC và có thể gắn các manifold hoặc vòi phun tùy chỉnh để điều chỉnh khu vực phủ sóng theo yêu cầu. Nó còn có các đầu nối I/O để giám sát trạng thái và điều khiển ion hóa từ xa.

Thông số kỹ thuật

• Điện áp đầu vào: +24 VDC, ±5% @ 0.25 A, 6W (typ).
• Khí cấp: Nitơ, độ tinh khiết tối thiểu 99.999%.
• Lưu lượng khí: Tối thiểu 1.41 cfm @ 5.3 psi, khuyến nghị 3.18 cfm @ 24.8 psi, tối đa 3.53 cfm @ 30 psi.
• Nhiệt độ khí cấp: Tối đa 140°F (60°C).
• Đầu nối khí vào: Swagelok® 316L SST 1/8″ FNPT Adapter to 3/8″ OD tubing.
• Đầu nối khí ra: Internal 1/4” NPT female threaded.
• Lọc khí: Disposable, hiệu suất lọc 99.999% cho các hạt 0.01 micron.
• Thời gian xả: Không có Manifold: <10 giây; Có Manifold: <100 giây.
• Cân bằng ion: ±25V hoặc nhỏ hơn.

• Công nghệ phát ion: AC tần số cao.

• Điểm phát: Silicon đơn tinh thể.
• Độ sạch phòng sạch: ISO 14644-1 Class 1 (0.1 μm particles) & Extended ISO Class 1 (0.01 μm particles).
• Chỉ báo LED: Xanh (POWER); đỏ (ALARM); vàng/xanh dương (WARNING, LEARN).
• Môi trường hoạt động: 59-140°F (15-60°C).
• Gắn: Hai lỗ ren M5 ở đáy thiết bị.
• Vỏ: Thép không gỉ.
• Kích thước: 6.01”L x 2.86”W x 1.26”H (15.2 x 7.26 x 3.20 cm).
• Trọng lượng: 1.4 lb (0.64 kg).
• Phụ kiện tùy chọn: Manifold PEEK, bộ lọc cartridge, hộp phân phối nguồn tín hiệu.

LGP Co., Ltd – Chúng tôi cung cấp Máy Ion Hóa Khí Nitơ Siêu Sạch In-line Simco-Ion 4214  ,nổi tiếng về chất lượng và hiệu suất vượt trội trên thị trường. Sản phẩm của chúng tôi được khách hàng đánh giá cao về độ tin cậy và chất lượng tiêu chuẩn. Các sản phẩm được kiểm tra cẩn thận, mua từ các nguồn uy tín và có nhu cầu cao. Chúng tôi cung cấp trên toàn quốc với giá cả cạnh tranh. Ngoài ra, chúng tôi còn cung cấp các sản phẩm của các thương hiệu như VEE GEE Scientific,EATON-BUSSMANN, Bauergears, HEB Hydraulik , Beinat, Aeautel, Borger, Silvent, Vikan, Air Torque, Jumo, Yudian,…

*Liên hệ với chúng tôi:

CÔNG TY TNHH THƯƠNG MẠI VÀ DỊCH VỤ LÂM GIA PHÚ

– Địa chỉ: 28/12B, Đường 32, Phường Linh Đông, Quận Thủ Đức, Thành phố Thủ Đức.

– Điện thoại: +84 90 664 0828 (Ms. Như /Ms. Joyce)

– Email: marketing1@lamgiaphu.com